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中芯國際紹興重要專案量產:月產能突破 7 萬片,良率達 99%

7 月 7 日訊息國內最大的晶圓代工廠中芯國際日前又一個重要專案開始量產。據浙江日報報道稱,位於浙江紹興的中芯紹興成功完成晶圓裝置鏈除錯。8 英寸晶圓月產能增至 7 萬片,良品率達 99%。

目前半導體領域應用範圍最廣的是 8 英寸、12 英寸晶圓。中芯紹興量產成功的 8 英寸晶圓,可用於智慧汽車、智慧家居家電的晶片製造。

中芯積體電路製造(紹興)有限公司由中芯國際、紹興市政府、盛洋集團共同出資設立。2018 年 5 月 18 日,中芯紹興 8 英寸廠房專案舉行奠基儀式,標誌著中芯國際微機電和功率器件產業化專案正式落地紹興。2020 年 1 月中芯積體電路製造(紹興)有限公司 8 英寸專案正式量產,產能爬坡迅速。

中芯紹興佈局三大工藝平臺:一是 MEMS 平臺,包括 MEMS 麥克風、壓力感測器、超聲波感測器、振盪器、加速度計、陀螺儀;二是 MOSFET 工藝平臺,包括溝槽式 MOSFET、分柵式 MOSFET 以及超結 MOSFET;三是立足場截止型(Field Stop)IGBT 結構。

瞭解到,2020 年是紹興積體電路產業平臺開啟全面建設的關鍵之年。一年多來,平臺聚焦積體電路設計 — 製造 — 封裝 — 測試 — 裝置及應用全產業鏈,多措並舉為打造以積體電路為核心的高能級現代產業體系厚植根基。2020 年,積體電路產業總產值突破 300 億元,成為紹興城市綜合經濟實力提升到全國第 29 位的重要動力。