硬擊穿是一次性造成器件的永久性失效，如器件的輸出與輸入開路或短路（二極體硬擊穿幾乎為短路）。

　　軟擊穿則可使器件的效能劣化，並使其指標引數降低而造成故障隱患。由於軟擊穿可使電路時好時壞(指標引數降低所致，如萬用表測試肖特基二極體，會有顯示相對正常的阻值，但專業肖特基二極體測試儀會發現其VB（耐壓）本來1000V的耐壓已衰降至100V左右，如下圖所示)，且不易被發現，給整機執行和查詢故障造成很大麻煩。

　　軟擊穿時裝備仍能帶病工作，效能未發生根本變化，但隨時可能造成再次失效。多次軟擊穿就能造成硬擊穿，使電子裝備執行不正常。不僅IC、

　　在一些特定的情況下肖特基二極體的特性變壞，比如電壓比較高時（還沒到真正的擊穿電壓），或溫度較高等等。用萬用表測量不出來效能已經變壞，但是裝在電路上卻不能正常工作。另外一種就是輕微擊穿。比如肖特基二極體，用萬用表測試，其反向電阻變小，有漏電現象。又比如電視機的行輸出肖特基二極體發生軟擊穿時，將導致陽極高壓上不去，產生圖象暗淡、散焦等現象。

　　軟擊穿主要是由於器件的使用時間過長或是長期工作在惡劣條件下老化而產生的。一般應予以更換，擊穿時PN接面的溫度上升，如果還沒有破壞PN接面的結構，則造成擊穿的條件去除後，PN接面的功能能夠得到恢復或部分恢復，就可認為不是硬擊穿或稱為軟擊穿。若溫度上升太高，PN接面的結構完全破壞，擊穿的條件去除後，PN接面的功能就不能得到恢復，這種擊穿稱為硬擊穿（如下圖肖特基二極體晶片為大電流擊穿後的影象）。硬擊穿的肖特基二極體不能正常工作，通常說燒壞了，需要更換。出現軟擊穿的肖特基二極體，效能也已經下降很多，一般也應該進行更換，但應急情況下還可暫時堅持工作，只是隨時都可能變成硬擊穿而完全不能工作。