靈敏度：指沿著感測器測量軸方向對單位振動量輸入x可獲得的電壓訊號輸出值u，即s=u/x 

與靈敏度相關的一個指標是解析度，這是指輸出電壓變化量△u可加辨認的最小機械振動輸入變化量△x的大小。為了測量出微小的振動變化，感測器應有較高的靈敏度。 

使用頻率範圍：指靈敏度隨頻率而變化的量值不超出給定誤差的頻率區間。其兩端分別為頻率下限和上限。為了測量靜態機械量，感測器應具有零頻率響應特性。感測器的使用頻率範圍，除和感測器本身的頻率響應特性有關外，還和感測器安裝條件有關（主要影響頻率上限）。 

動態範圍：動態範圍即可測量的量程，是指靈敏度隨幅值的變化量不超出給定誤差限的輸入機械量的幅值範圍。在此範圍內，輸出電壓和機械輸入量成正比，所以也稱為線性範圍。動態範圍一般不用絕對量數值表示，而用分貝做單位，這是因為被測振值變化幅度過大的緣故，以分貝級表示使用更方便一些。 

相移：指輸入簡諧振動時，輸出同頻電壓訊號相對輸入量的相位滯後量。相移的存在有可能使輸出的合成波形產生崎變，為避免輸出失真，要求相移值為零或Π，或者隨頻率成正比變化。 

環境條件：包括對工作溫度，環境溫度、電磁場遮蔽等要求。下表將M3000系統的振動感測器的特性及優缺點作一歸納： 
取樣及量化誤差：模擬訊號離散取樣過程即模/數（A/D）轉換的過程，包括取樣、量化、編碼等內容。