據業內透露，截至第二季度，ASML EUV 裝置出貨總量達到 102 臺，隨著需求量的提高和客戶群的擴大，預計 2 年內累計供應量將增加 2 倍以上，標誌著 EUV 時代正式拉開帷幕。

據 ETNews 報道，過去四個季度（2020 年第三季度-2021 年第二季度），ASML EUV 裝置出貨總計 40 臺，較之前四個季度（2019 年第三季度-2020 年第二季度）增長了 66%。ASML 今年的出貨目標是 40 臺左右，下半年將供應 25 臺左右。

ASML 擴大 EUV 裝置供應響應了半導體制造業實現超微電路層的需求。儘管每臺裝置的價格達到 1.71 億美元，但由於其卓越的工藝成本和省時效果，可以抵消裝置採購的成本。業內人士指出，通過 EUV 可以降低裝置成本和工藝成本，因此，在微加工領域引進 EUV 裝置的企業越來越多。

根據 ASML 的說法，5-7nm 邏輯半導體（以每月 45,000 顆晶圓為基準）每個 EUV 層需要一臺 EUV 裝置，16nm 及以下節點 DRAM（以每月 100,000 顆晶圓為基準）每個 EUV 層則需要 1.5-2 臺裝置。三星電子計劃，到今年下半年為止，將 14nm DDR5 DRAM 的 EUV 應用層數從 1 層增加到 5 層，SK 海力士也計劃增加 EUV 應用層數，因此，預計 EUV 裝置的需求將進一步增加。

除了 EUV 層的增加，EUV 裝置的客戶群也在逐漸擴大。繼 2018 年三星電子首次引進 7nm 製程的 EUV 裝置後，臺積電和 SK 海力士也加入了 EUV 競爭。美國的美光和英特爾也在推進 EUV 裝置的引進，預計市場規模將進一步擴大。

業界預測，EUV 時代將全面加速發展。因此，ASML 計劃通過增加裝置供應來滿足需求。ASML 執行長 Peter Wennink 在第二季度財報會議上表示:“我們計劃明年將 EUV 裝置的產量增加到 55 臺，到 2023 年將達到 60 臺。”兩年後，市場上將有 240 多臺 EUV 裝置投入使用，超過了目前積累的供應量。

但據觀察，臺積電已確保了目前供應的半數 EUV 裝置。臺積電擁有約 50 臺 EUV 裝置。考慮到 EUV 裝置的目前由 ASML 獨家供應，三星電子、SK 海力士等半導體企業很難在短時間內確保有足夠的裝置。