韓國業內一項調查顯示，美國、日本、歐洲企業實際上壟斷了韓國半導體裝置 AI 專利。提高半導體生產效率的關鍵是 AI 技術，業內擔憂韓國半導體裝置競爭力將受到影響。

據 ETNews 報道，下一代智慧半導體財團與韓國半導體顯示器技術學會合作，對 10 大外國半導體裝置企業和 10 家韓國本土半導體裝置企業的 AI 專利競爭力進行了調查。結果顯示，韓國半導體裝置相關的人工智慧專利中，外國企業佔 98%。

在這其中，佔比最大的是美國軍方，共申請了 54 項專利。ASM 和 ASML 分別為 24 和 20。日立高科技申請了 12 項，應用材料申請了 11 份。而韓國本土裝置企業只有 3 項，兩項來自 SEMES，一項來自 PSK。

AI 技術在半導體裝置中的應用直接關係到生產率，可用於晶圓轉移、工藝配方優化和缺陷形態分析。這減少了半導體生產的過程時間和成本，同時提高了產品收率。業內評價稱，如果將 AI 技術應用於半導體裝置，生產效率最高可提高 10 倍。

Lam Research 稱，其最大的優勢是通過 AI 技術將實驗設計的數量和成本減少 20%。KLA 和 TEL 也將 AI 應用於他們的測量和測試裝置。

報道指出，外國企業從 2008 年開始在韓國申請 AI 相關專利。特別是，自半導體超級週期正式開始的 2017 年以來，外國企業的專利申請急劇增加。而韓國本土企業直到 2018 年才申請專利。

下一代智慧半導體財團理事長 Hyung-joon Kim 評價稱:“大部分專利都是在申請後 1 年半後才公開的，因此外國企業急於通過提前公開和優先審查來確保專利權。”

如果不能及時確保專利權，裝置的競爭力將會下降。由於半導體制造工藝相似，如果外國企業首先獲得專利，就有可能中斷國內裝置的開發。由此可見，AI 專利競爭力已成為進入新一代半導體裝置市場的障礙。

Hyung-joon Kim 強調說，“國內半導體裝置 AI 專利的引進和開發出乎意料地落後。有必要在診斷和檢測等相對容易引進的領域推進 AI 專利申請。”