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韓國開建超純水示範工廠:每天生產 2400 噸,用於半導體晶片製造

11 月 17 日訊息,根據韓國媒體 BusinessKorea 報道,韓國環境部於 11 月 16 日在 SK Silitron 工廠舉辦了超純水示範工廠的奠基儀式。新工廠將驗證工業用超純水製造相關的各項技術,其中包含用於有機物去除的 UV 氧化系統,用於去除溶解氧的脫氣系統,以及相關裝置和施工方式。

新工廠建在半導體制造商的工廠內,在技術驗證期間也能供應超純水,韓國計劃在 2025 年之前完成技術驗證,目的是減少對於外國技術的依賴

這家工廠的目標是每天生產 2400 噸超純水,此外遠期目標是將生產和運營過程中進口裝置的使用率降低至 0%,技術和裝置採購方面的進口依賴程度降低到 40%。

瞭解到,超純水是半導體晶片製造過程中必不可少的,臺積電每天需要用到大量的超純水對晶圓表面進行清潔。這種水內部的有機物含量需要低於 0.01ppm(百萬分之一)。此前,韓國一直依賴從法國和日本進口超純水

外媒預計,與電子、醫藥、鋼鐵、半導體相關的全球超純水市場,預計到 2024 年將達到 23 萬億韓元(約 1244 億元人民幣)。其中半導體相關的超純水市場規模,估計會達到 4.4 萬億韓元(約 238 億元人民幣)。