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晶瑞電材:ArF(193)高階光刻膠研發工作已正式啟動

12 月 16 日訊息,集微網訊息,近日,晶瑞電材在接受機構調研時表示,公司高階 KrF(248)光刻膠已完成中試,建成了中試示範線,已進入客戶測試階段。

目前 ArF(193)高階光刻膠研發工作已正式啟動,已完成光刻機、勻膠顯影機、掃描電鏡、臺階儀等裝置購置,其中 ASML1900Gi 型光刻機裝置正在積極除錯中。同時公司正在積極開展對上游材料樹脂單體及配方的研究。

據悉,晶瑞電材近期已購得 KrF 光刻機一臺,可用於 KrF 光刻膠的曝光測試,同時公司 KrF 光刻膠量產化生產線正在積極建設中。此前,公司已經購得用於負膠、g 線、i 線、ArF 等 4 臺光刻機,再加之此次購得的 KrF 光刻機,公司已經到位 5 臺光刻機

晶瑞電材指出,公司 3 萬噸電子級硫酸產線已於今年上半年順利通車,經試生產除錯,產品金屬雜質含量低於 10ppt,達到 G5 級水平,品質已達全球同行業第一梯隊水平,產品技術指標可以履蓋目前全部先進積體電路技術節點的要求。目前,公司正在積極開展客戶論證測試,市場反應良好。現有 3 萬噸硫酸專案的順利建設為二期 6 萬噸硫酸專案的順利實施提供了基礎和保障。二期 6 萬噸電子級硫酸專案已啟動,專案的建設期為 12 個月,當前已取得環評審批。

新能源方面,晶瑞電材認為,公司是一家微電子材料的平臺型高新技術企業,圍繞泛半導體材料和新能源材料兩個方向,努力打造為集研發、生產、檢測、銷售、技術支援於一體的國際知名微電子化學品製造企業,公司鋰電池材料主要產品包括 NMP、SBR、CMCLi、PAA、電解液等。當前公司鋰電池材料產品產銷兩旺,根據公司戰略發展規劃,為進一步推進公司產能佈局,滿足市場迫切需求,鞏固行業領先地位,公司全資子公司晶瑞新能源擬使用自籌資金投資建設年產 5 萬噸 NMP 專案。

目前,晶瑞(湖北)微電子材料專案一期目前正在裝置安裝除錯階段。

受益於我國半導體材料行業國產替代程序提速,下游晶片廠商需求增長,當前公司主導產品半導體級光刻膠及配套材料、超淨高純試劑、鋰電池材料等產銷兩旺,未來隨著公司 KrF 光刻膠測試完成並逐步量產、ArF 光刻膠研發成功並最終量產,以及公司南通、陝西、四川等基地新增的高純硫酸、NMP、光刻膠等產品產能的逐步釋放,有望成為公司新的利潤增長點。

未來,公司將持續發揮主營業務的優勢,圍繞泛半導體和新能源材料方向,繼續通過內生增長和外延併購,將公司打造成產品種類全、技術水平高,具有國際競爭力的微電子化學品生產企業。關於併購方向,公司依然圍繞主營業務開展。