晶瑞電材:公司光刻膠產品達到國際中高階水準
8 月 25 日,晶瑞電材在投資者互動平臺表示,公司光刻膠產品達到國際中高階水準,在國內具有悠久聲譽,穩定生產光刻膠近三十多年,是國內最早規模量產光刻膠的企業之一。
光刻膠是國際上技術門檻最高的微電子化學品之一,高階產品的研發和生產主要由日系 JSR、信越化學、東京應化等少數公司所壟斷。
晶瑞電材指出,公司承擔並完成了國家 02 專項“i 線光刻膠產品開發及產業化”專案。公司為我國曆史最悠久、供應量最大的光刻膠生產企業之一,產品序列齊全,產業化規模、盈利能力均處於行業領先水平,其中 g/i 線光刻膠已向中芯國際、合肥長鑫等知名大尺寸半導體廠商供貨,KrF(248nm 深紫外)光刻膠完成中試,目前已進入客戶測試階段,測試通過後即可進入量產階段。ArF 高階光刻膠研發工作已正式啟動,旨在研發滿足 90-28nm 晶片製程的 ArF(193nm)光刻膠,滿足當前積體電路產業關鍵材料市場需求。
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