12 月 8 日，有投資者向晶瑞電材提問，晶瑞電材是否擁有 KrF 光刻機？ 是否具備批量生產 KrF 光刻膠的條件？

晶瑞電材表示，公司近期已購得 KrF 光刻機一臺，可用於 KrF 光刻膠的曝光測試，同時公司 KrF 光刻膠量產化生產線正在積極建設中。

關於公司的主導產品，晶瑞電材表示，公司的主導產品包括光刻膠及配套材料、超淨高純試劑、鋰電池材料和基礎化工材料等，廣泛應用於半導體、新能源、基礎化工等行業，主要應用到下游電子產品生產過程的清洗、光刻、顯影、蝕刻、去膜、漿料製備等工藝環節。公司專業從事微電子化學品的產品研發、生產和銷售。公司經過多年研發和積累，超淨高純試劑主要產品達到國際最高純度等級（G5），打破了國外技術壟斷，制定了多項行業標準；被中國電子材料行業協會評為“中國電子化學品十強企業”，光刻膠產品規模化生產近 30 年，達到國際中高階水準，是國內最早規模量產光刻膠的少數幾家企業之一。

根據官方資料，晶瑞電材子公司蘇州瑞紅於 1993 年開始光刻膠生產，是國內最早規模量產光刻膠的少數幾家企業之一，目前能夠能夠提供紫外負型光刻膠和寬譜正膠及部分 g 線、i 線正膠等高階產品，擁有達到國際先進水平的光刻膠生產線，實行符合現代微電子化學品要求的淨化管理，配備了國內一流的光刻膠檢測評價裝置。承擔並完成了國家 02 重大專項“i 線光刻膠產品開發及產業化”專案，i 線光刻膠已向國內頭部的知名大尺寸半導體廠商供貨，KrF (248nm 深紫外) 光刻膠完成中試，產品解析度達到了 0.25~0.13μm 的技術要求，建成了中試示範線。公司於 2020 年下半年購買 ASML XT 1900 Gi 型光刻機裝置，ArF 高階光刻膠研發工作正式啟動，旨在研發滿足 90-28nm 晶片製程的 ArF (193nm) 光刻膠。與半導體行業客戶包括中芯國際、華虹巨集力、上海積塔、長江儲存、士蘭微、合肥長鑫、揚傑科技等建立了長期合作伙伴關係。