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全國首家 12 英寸晶圓再生工廠在合肥量產

7 月 15 日訊息經過多年發展,合肥已成為國內積體電路產業發展最快、成效最顯著的城市之一。甚至每次出現關於合肥的新聞都會引起小夥伴的驚歎。

據合肥市人民政府釋出,合肥至微專案成為國內最早具備 12 英寸晶圓再生及關鍵裝置零部件再生能力的專案之一,全國首家 12 英寸晶圓再生工廠現已實現量產。

(科普:所謂“晶圓再生”,指的是通過去除損耗控擋片表面的雜質和缺陷,使處理後的晶圓達到新片的標準,實現其迴圈再利用,進而為企業節約大量成本)

據介紹,合肥至微專案總投資近 10 億元,於 2020 年 3 月正式開工、2020 年 12 月專案裝置除錯、2021 年 3 月試生產,並在今年 6 月進入量產階段。

瞭解到,合肥量產的這一晶圓再生專案以 14 奈米晶圓廠的再生晶圓需求為設計基礎,是服務於中國半導體高階市場的首條投產的 12 英寸晶圓再生產線。

官方表示,該專案全面達產後,可形成每年 168 萬片晶圓再生及 120 萬件零部件清洗的能力,滿產後年產值可超過 6 億元。

據悉,這是國內最先量產的 12 英寸晶圓再生工廠,該專案將對我國半導體行業產生重大影響。

值得一提的是,國內高階晶圓此前若要進行再生需求都需要先送到日本、中國臺灣等地進行處理。