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日韓兩地齊增產,住友化學 ArF 用光刻膠有望擴產 1.5 倍

9 月 1 日訊息為應對當地晶片廠需求,日本大廠住友化學擬在韓國興建先進半導體材料廠房,生產應用於最先進製程的光刻膠,同時在日本增加新產線,整體最先進製程用光刻膠產能有望擴增 1.5 倍。

▲圖源:WBCSD

據 MoneyDJ 報道,住友化學 8 月 31 日宣佈,將加強最先進製程用光刻膠生產,計劃在日本大阪工廠增設 ArF 及 EUV 用光刻膠產線,預計在 2023 年上半年啟用生產。同時,其位於韓國益山市的全資子公司 Dongwoo Fine-Chem 也將興建浸潤式 ArF 用光刻膠產房,預計在 2024 年上半年啟用生產。

若上述計劃進展順利,到 2024 年,住友化學整體最先進製程用(ArF)光刻膠產能將較 2019 年提高 1.5 倍。

據瞭解,住友化學 ArF 用光刻膠目前僅由日本大阪工廠生產,由於在效能、品質上具有優勢,全球市佔率高,而韓國的 Dongwoo Fine-Chem 工廠此前為公司 i 線、KrF 用光刻膠生產據點,擁有 20 年以上的生產經驗。

據日經新聞報道,此次住友化學決定在韓國興建 ArF 用光刻膠工廠,是為因應當地客戶希望其分散生產,藉此穩定供貨給韓國晶片廠使用。需要指出的是,此次住友化學增產的光刻膠產品不在日本對韓國出口管制的清單內。