本月 3 日，光刻機制造商阿斯麥位於德國柏林的一座工廠發生火災，大火在當晚被撲滅，沒有人員在火災中受傷，阿斯麥隨後也宣佈將對火災的影響進行評估，並對外公佈相關的訊息。

阿斯麥官網的資訊顯示，他們已完成柏林工廠火災影響的初步評估。

阿斯麥在官網上表示，上週一的火災，發生在柏林工廠的一棟建築中，火災中的煙霧，部分影響到了相鄰的建築，受影響建築的部分生產已能恢復，其他未受影響的建築，已全面運營。

火災影響的損壞評估仍在進行中，但阿斯麥方面表示，從目前的情況來看，他們計量和檢測產品的產出計劃將不會受到影響，因為沒有相關的部件在柏林工廠生產。

雖然火災未影響到計量和檢測產品部件的生產，但阿斯麥位於柏林的工廠，生產 DUV 和 EUV 光刻機的部分部件，這兩類光刻機部分部件的生產，在火災中都受到了影響。

阿斯麥在官網上表示，DUV 光刻機零部件的生產部分中斷，生產已經恢復，預計他們將以一種不會影響 DUV 光刻機產量和收入計劃的方式進行補救。

柏林工廠受火災影響仍未恢復的，是 EUV 光刻機一個零部件的生產區域，恢復計劃仍在進行中，他們已決定採取相關的措施，將對 EUV 光刻機客戶、產出計劃及服務的潛在影響降到最低。

阿斯麥在官網上還表示，他們將在 1 月 19 日披露去年四季度及全年的業績，預計會提供火災影響的最新資訊。