阿斯麥:柏林工廠火災波及 EUV 光刻機一部件生產區域,尚未恢復
阿新 • • 發佈:2022-01-10
本月 3 日,光刻機制造商阿斯麥位於德國柏林的一座工廠發生火災,大火在當晚被撲滅,沒有人員在火災中受傷,阿斯麥隨後也宣佈將對火災的影響進行評估,並對外公佈相關的訊息。
阿斯麥官網的資訊顯示,他們已完成柏林工廠火災影響的初步評估。
阿斯麥在官網上表示,上週一的火災,發生在柏林工廠的一棟建築中,火災中的煙霧,部分影響到了相鄰的建築,受影響建築的部分生產已能恢復,其他未受影響的建築,已全面運營。
火災影響的損壞評估仍在進行中,但阿斯麥方面表示,從目前的情況來看,他們計量和檢測產品的產出計劃將不會受到影響,因為沒有相關的部件在柏林工廠生產。
雖然火災未影響到計量和檢測產品部件的生產,但阿斯麥位於柏林的工廠,生產 DUV 和 EUV 光刻機的部分部件,這兩類光刻機部分部件的生產,在火災中都受到了影響。
阿斯麥在官網上表示,DUV 光刻機零部件的生產部分中斷,生產已經恢復,預計他們將以一種不會影響 DUV 光刻機產量和收入計劃的方式進行補救。
柏林工廠受火災影響仍未恢復的,是 EUV 光刻機一個零部件的生產區域,恢復計劃仍在進行中,他們已決定採取相關的措施,將對 EUV 光刻機客戶、產出計劃及服務的潛在影響降到最低。
阿斯麥在官網上還表示,他們將在 1 月 19 日披露去年四季度及全年的業績,預計會提供火災影響的最新資訊。