北京中電科晶圓減薄機實現批量化應用,將實現年產 100 臺
阿新 • • 發佈:2022-04-03
據亦城時報報道,北京中電科電子裝備有限公司(以下簡稱:北京中電科)自主研發的國產高階 8/12 英寸晶圓減薄機今年以來訂單不斷,實現了批量化應用。目前該公司已有 20 多臺不同型號裝置用於積體電路材料加工、晶片製造、先進封裝等工藝段的產品量產。
如今,北京中電科的裝置已在多家工廠投入使用,各項工藝指標均達到日本進口同類機型水平。在第三代半導體材料加工領域,北京中電科順利完成 SiC 材料減薄工藝驗證並形成多臺裝置訂單。
依託電科裝備積體電路裝備產業園的建設,北京中電科將快速形成年產 100 臺減薄機的交付能力。與此同時,北京中電科將加大投資力度,持續擴大市場份額,預計 2022 年減薄裝置將實現合同額 1.2 億元,2023 年全系列產品產值將突破 2 億元。
據報道,北京中電科電子裝備有限公司總經理王海明表示,今年年底前還將陸續推出 12 英寸減薄拋光一體機的產業化機型和 8 英寸碳化矽減薄研磨(CMP)機。
北京中電科電子裝備有限公司成立於 2003 年 12 月,多年來致力於積體電路封裝裝置、半導體材料加工裝置的研發、製造與市場服務,主要產品有減薄、劃切裝置等。