近日，科翰龍自主研發的晶圓打碼機 WM-SC800R 通過驗收。

北京亦莊訊息顯示，這是國內首臺通過 FAB 廠（通常指半導體工廠）驗收的具有自主智慧財產權的晶圓 (Wafer) ID 打碼裝置。

圖片來源：北京亦莊

據介紹，兩年前，WM-SC800R 就在 FAB 廠的 8 英寸積體電路晶圓生產線上進行晶圓 (Wafer) ID 軟打碼測試及試生產。檢測結果優良，該晶圓打碼機所加工的晶圓 (Wafer) ID 碼完全達到了 SEMI (半導體裝置與材料的國際性組織) 標準的要求，達到了使用者關於軟打碼顆粒數的要求，完全達到了 ISO 1 級環境下的要求。

經過兩年的測驗，今年 8 月，晶圓打碼機 WM-SC800R 終於正式通過驗收。

科翰龍副總經理王向陽表示，為了打破國外公司在相關領域的長期壟斷，科翰龍利用自己的技術優勢研發了晶圓 (Wafer) ID 打碼裝置。WM-SC800R 在鐳射器的選用、光路的設計、晶圓定位的方法、裝置結構設計以及裝置的整體控制及軟體程式設計上都是自主設計開發的，具有完全的自主智慧財產權。

科翰龍官網顯示，該公司致力於精密加工、鐳射加工及自動化技術在半導體微電子行業的應用，主要開發和製造三類產品：晶圓鐳射打碼裝置、晶圓倒角邊拋裝置、單片溼式工藝裝置。