中微公司:釋出用於高效能 Mini-LED 量產的 MOCVD 裝置 Prismo UniMax
6 月 17 日訊息 從中微公司獲悉,今日,中微半導體裝置(上海)股份有限公司(簡稱“中微公司”)宣佈推出為高效能 Mini LED 量產而設計的 Prismo UniMax MOCVD 裝置。
中微公司表示,該裝置在幫助 LED 晶片製造商提高產能的同時能夠有效地降低生產成本。
據介紹,中微公司 Prismo 系列 MOCVD 裝置已進入全球大多數氮化鎵基藍綠光 LED 製造商,此次推出的 Prismo UniMax 是中微公司 Prismo 系列 MOCVD 裝置的最新產品,該裝置在同一系統中可配備多達 4 個反應腔。Prismo UniMax 配置了多區溫度補償加熱系統,具備波長均勻性、重複性和穩定性。
該裝置還具有其他一些特徵,如通過石墨盤晶片排布的最優化,其加工容量可以延伸到生長 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸晶片。
獲悉,中微公司 Prismo UniMax MOCVD 裝置已收到來自國內客戶的訂單。
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