中微公司首臺 8 英寸 CCP 刻蝕機 Primo AD-RIE 200 順利付運
阿新 • • 發佈：2021-06-16
6 月 15 日訊息 今天，中微半導體裝置（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”）首臺 8 英寸甚高頻去耦合反應離子（CCP）刻蝕裝置 Primo AD-RIE 200 順利付運客戶生產線。
獲悉，Primo AD-RIE 200 是中微公司自主研發的新一代 8 英寸甚高頻去耦合反應離子（CCP）刻蝕裝置。基於已被業界廣泛認可的 12 英寸 CCP 刻蝕裝置的成熟工藝與特性，Primo AD-RIE 200 在技術創新和生產效率方面都有了進一步提升，能夠滿足不同客戶 8 英寸晶圓的加工需求。
為提高生產效率，Primo AD-RIE 200 刻蝕裝置可靈活配置多達三個雙反應臺反應腔（即六個反應臺）。此外，Primo AD-RIE 200 提供了可升級至 12 英寸刻蝕裝置系統的靈活解決方案，以滿足客戶生產線未來可能擴產的需求。
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