清華大學等離子體刻蝕機採購專案公開招標，預算 165 萬元
3 月 29 日訊息，3 月 29 日，清華大學釋出了等離子體刻蝕機採購專案公開招標公告。
該公告顯示，清華大學現對等離子體刻蝕機採購專案進行國內公開招標，欲採購 1 套等離子體刻蝕機，採購預算為 165 萬元。
裝置用途介紹 ：
該等離子體刻蝕機用於刻蝕薄膜鈮酸鋰晶圓，從而加工基於薄膜鈮酸鋰晶圓的電光器件。
簡要技術指標 ：
真空系統：★分子泵抽速≥1300L / s，幹泵抽速≥100m3 / h；
下電極：★滿足 8 英寸樣品刻蝕需要，更小樣品或碎片可貼片裝載；
軟體和控制系統：★自主版權的軟體，Windows 作業系統軟體；
機臺工藝能力：★主要用於刻蝕薄膜鈮酸鋰材料、介質材料等。
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