光刻機關鍵系統產業化新進展，國望光學啟動裝置招標

阿新 • • 發佈：2022-05-07

愛集微查詢中國國際招標網發現，日前北京國望光學科技有限公司釋出國際公開競爭性招標，擬採購 2 臺五軸聯動立式加工中心，投標截止時間（開標時間）為 2022 年 5 月 26 日。

此前公開資訊顯示，國望光學光刻機曝光系統生產基地專案已相繼走過基建與潔淨工程節點，新的招標資訊或顯示生產基地專案將進入裝置安裝除錯階段。

根據計劃，國望光學研發基地將於 2023 年投入執行，屆時該基地將擁有 350/280nm 節點、90/110nm 節點、28nm 及以下節點極大規模 IC 製造投影光刻機曝光光學系統產品的研發、設計與批量生產供貨能力。

愛集微查詢中國國際招標網發現，日前北京國望光學科技有限公司釋出國際公開競爭性招標，擬採購 2 臺五軸聯動立式加工中心，投標截止時間（開標時間）為 2022 年 5 月 26 日。此前公開資訊顯示，國望光學光刻機曝光系

北京市公共資源交易服務平臺日前釋出《投影光刻機曝光光學系統研發及批量生產基地專案潔淨工程中標候選人公示》，四聯智慧技術股份有限公司等三家企業位列中標候選人。公開資料顯示，該生產基地建設單位為北京國望光

近日，CNBC 報道稱，半導體裝置製造公司 ASML 基於半導體裝置市場需求的增長，提高了其未來營收預期，預計到 2025 年年收入將達到 24-300 億歐元，其中毛利率高達 54% 至 56%。該預測明顯高於此前預測的 15-240 億歐

ASML Holding NV 週一表示，ASML 公司在德國柏林的一家工廠發生了火災，並補充說沒有人受傷，現在評估對其運營的影響還為時過早。A 股方面，半導體板塊全線大跌，整個板塊跌幅超過 2%。而半導體概念板塊方面，跌幅同

荷蘭當地時間 1 月 19 日，光刻機廠商 ASML 釋出了其 2021 年第四季度和全年財報。ASML 第四季度營收 49.86 億歐元（約合 359 億人民幣），其中 EUV 光刻機賣出 11 臺，銷售額為 16 億歐元（約合 115 億人民幣）。全

10月12日訊息中國一站式 IP 和定製晶片企業芯動科技（INNOSILICON）昨天釋出：已完成全球首個基於中芯國際 FinFET N+1 先進工藝的晶片流片和測試，所有 IP 全自主國產，功能一次測試通過。

儲存晶片廠商 SK 海力士 2 月 1 日宣佈，其公司位於韓國首爾南部利川市的 M16 新廠已經竣工，SK 海力士將首次使用極紫外輻射（EUV）光刻機在生產儲存晶片。

2 月 25 日訊息據清華大學官網訊息，2 月 25 日，清華大學工程物理系教授唐傳祥研究組與來自亥姆霍茲柏林材料與能源研究中心（HZB）以及德國聯邦物理技術研究院（PTB）的合作團隊在《自然》（Nature）上發表了題為

3 月 8 日訊息上海新陽今日釋出公告：公佈了最新的 ASML-1400 光刻機有關進展。

9 月 2 日訊息，荷蘭阿斯麥的新一代極紫外（EUV）光刻機每臺有公共汽車大小，造價 1.5 億美元。其前所未有的精度可以讓晶片上的元件尺寸在未來幾年繼續縮小。

9 月 19 日訊息據上海微電子裝備集團官方公眾號，昨日，上海微電子舉行新產品釋出會，宣佈推出新一代大視場高解析度先進封裝光刻機。▲新一代先進封裝光刻機，圖源：上海微電子裝備集團官方公眾號據介紹，上海微電子

11 月 24 日訊息，眾所周知，由於某些原因，ASML 最先進的 EUV 光刻機無法進入中國內地，甚至一些海外廠商換下來的舊裝置也很難進入內地。此前路透社援引知情人士的話報道稱，韓國企業 SK 海力士無錫工廠的升級改造

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集微網訊息，3 月 16 日，格科微有限公司關於公司業務開展情況的自願性公告顯示，12 英寸 CIS 積體電路特色工藝研發與產業化專案進展順利，ASML 光刻機等部分裝置已如期進場，預計該專案年底達到量產狀態。2021 年 9

3 月 29 日訊息，光刻機巨頭阿斯麥 ASML 在新加坡一間工廠的開幕式上宣佈，將在該工廠興建第二座製造車間，預計將於 2023 年初投產。擴建後的工廠將讓該公司在新加坡的產能增加 3 倍，全球產能倍增。ASML 是世界領先

9月28日訊息據臺媒 DigiTimes 報道，臺積電加速先進製程推進，近期擴大釋單，累計 EUV 機臺至 2021 年底將超過 50 臺。

10月1日訊息此前據臺媒 DigiTimes 報道，臺積電加速先進製程推進，近期擴大釋單，累計 EUV 機臺至 2021 年底將超過 50 臺。報道指出，相較之下，三星電子2021 年還不到 25 臺，同時 EUV POD（光罩傳送盒）採購量遠低

10 月 14 日訊息，據國外媒體報道，光刻機制造商阿斯麥在今日下午釋出了三季度的財報，他們在這一季度的營收同比大幅增加，接近 40 億歐元，向客戶交付並可確認收入的光刻機達到了 60 臺。

10月15日訊息據同花順財經，荷蘭阿斯麥 ASML 首席財務官 Roger Dassen 在財報會議的視訊採訪中談及了與中芯國際等中國客戶的業務情況。

10月15日訊息據《科創板日報》，光刻機制造商阿斯麥 ASML 公佈了 EUV 路線圖上的新機型 TWINSCANNXE:3600D 的最終規格，這是 30mJ/cm2 的曝光速度達到每小時曝光 160 片晶圓，提高了 18% 的生產率，並改進機器匹配套