芯東西 4 月 20 日報道，剛剛，薄膜沉積裝置供應商拓荊科技登陸科創板，發行價 71.88 元 / 股。

拓荊科技開盤價為 95.01 元 / 股。開盤後，拓荊科技股價最高漲至 104 元 / 股，漲幅達 44%，之後有所回落。截至芯東西成文，拓荊科技報 97 元 / 股，漲幅 35%，總市值 122 億元。

薄膜沉積是晶片製造的核心工藝環節，晶圓廠通過這種技術製造晶片襯底上的微米或奈米級薄膜材料層。薄膜沉積裝置和光刻機、刻蝕機共同構成晶片製造的三大主裝置。目前這一市場基本被應用材料、泛林半導體、東京電子等國際龍頭佔據，是國產半導體的“卡脖子”環節。

拓荊科技主要產品包括等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）裝置、原子層沉積（ALD）裝置和次常壓化學氣相沉積（SACVD）裝置三個系列，已廣泛應用於國內晶圓廠 14nm 及以上製程產線，並已展開 10nm 及以下製程產品的驗證測試。

▲ 拓荊科技產品（來源：拓荊科技官網）

拓荊科技是國產薄膜沉積裝置龍頭企業，是國內唯一一家產業化應用的積體電路 PECVD、SACVD 裝置廠商，曾三次被中國半導體行業協會評為“中國半導體裝置五強企業”。其產品已應用於中芯國際、華虹集團、長江儲存、長鑫儲存、廈門聯芯、燕東微電子等國內主流晶圓廠，打破了國際廠商對國內市場的壟斷。

報告期內，拓荊科技呈增長趨勢，2018 年至 2021 年 1-9 月各期營收分別為 7064.40 萬元、2.51 億元、4.36 億元和 3.74 億元。

由於股權較為分散，拓荊科技無控股股東或實際控制人。本次 IPO，拓荊科技計劃募資 10 億元，將分別用於“高階半導體裝置擴產”、“先進半導體裝置的技術研發與改進”、“ALD 裝置研發與產業化”與“補充流動資金”四個專案。

▲ 拓荊科技募資方向與使用安排（來源：拓荊科技招股書）

01. 排隊 9 個月，拓荊科技登陸科創板

拓荊科技成立於 2010 年 11 月，由中國科學院瀋陽科學儀器股份有限公司和孫麗傑分別出資 600 萬元和 400 萬元，持有拓荊有限 60% 和 40% 的股權。

拓荊科技 2010 年成立後，2011 年其首臺 12 英寸 PECVD 裝置就出廠到中芯國際進行驗證。2013 年，拓荊科技的 PECVD 裝置 PF-300T 通過中芯國際產品線測試，並於次年收穫中芯國際首個量產機臺 PF-300T 的訂單。

2014 年 1 月，孫麗傑將其持有的拓荊有限 40% 股權轉讓給姜謙、凌復華、張孝勇、劉憶軍、張先智等五名外籍專家，以及瀋陽盛騰、瀋陽盛旺、瀋陽盛全、瀋陽盛龍四個員工持股平臺。

截至拓荊科技上市，姜謙、凌復華、張孝勇、劉憶軍、張先智等人為拓荊科技的前十大自然人股東，不過劉憶軍、凌復華兩人已不在拓荊科技任職，張先智為拓荊科技顧問。姜謙和張孝勇分別為拓荊科技的董事和副總經理，也是拓荊科技 7 位核心技術人員中的 2 人。

2021 年 7 月 12 日，拓荊科技申報科創板 IPO 獲受理。截至今天拓荊科技上市，共歷時 9 個月。

02. 營收復合增長率近 150%，中芯國際為最大客戶

報告期內，拓荊科技 2018 年至 2021 年 1-9 月各期營收分別為 7064.40 萬元、2.51 億元、4.36 億元和 3.74 億元，近三年複合增長率達 148.32%。

隨著營收的增長，拓荊科技虧損逐步減少，並在 2021 年前 9 個月實現扭虧為盈。其 2018 年、2019 年、2020 年和 2021 年 1-9 月淨利潤分別為-1.03 億元、-1936.64 萬元、-1169.99 萬元和 5704.87 萬元。

報告期各期，拓荊科技研發投入分別為 1.08 億元、7431.87 萬元、1.23 億元和 1.30 億元，分別佔各期營收的 152.84%、29.58%、28.19% 和 34.65%。由於 2018 年拓荊科技營收較少，其研發投入佔比超過 100%。

▲ 拓荊科技 2018 年至 2021 年 1-9 月各期營收、淨利潤變化

具體來說，拓荊科技的主要產品有等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）裝置、原子層沉積（ALD）裝置和次常壓化學氣相沉積（SACVD）裝置三個系列。其中 PECVD 裝置是拓荊科技的核心產品，也是晶片製造薄膜沉積工藝中運用最廣泛的裝置種類。

招股書披露，拓荊科技已於 2018 年向某國際領先晶圓廠發貨了一臺 PECVD 裝置用於先進邏輯晶片製造研發產線。2020 年，該晶圓廠向拓荊科技增訂一臺裝置，用於其先進製程試產線。

報告期內，拓荊科技的 PECVD 裝置收入佔比均超過 75%，在 2019 年和 2020 年該類產品的收入佔總營收比例分別達 100% 和 97.55%。

▲ 2018 年至 2021 年 1-9 月拓荊科技各業務營收佔比

作為半導體制造裝置廠商，拓荊科技的主要客戶有中芯國際、長江儲存、華虹集團、晶合整合、北京燕東微、粵芯半導體等國內主要晶圓廠。

▲ 拓荊科技 2018 年-2021 年前 9 個月前五大客戶（來源：拓荊科技招股書）

拓荊科技的主要原材料採購專案為機械、電器、機電一體、氣體輸送系統等，主要供應商包括萬機儀器、超科林微電子裝置（上海）有限公司等。

▲ 拓荊科技 2018 年-2021 年前 9 個月前五大供應商（來源：拓荊科技招股書）

03. 核心技術達國際先進水平，6 名核心技術人員為外國國籍

從全球半導體薄膜沉積裝置市場來看，美國應用材料（AMAT）、美國泛林半導體（Lam Research）、日本東京電子、荷蘭先晶半導體（ASMI）等國際裝置巨頭佔據主導地位。

根據市場諮詢公司 Gartner 的資料，東京電子和 ASMI 分別佔據了全球 31% 和 29% 的 ALD 裝置市場；應用材料佔據了 85% 的 PVD 裝置市場；應用材料、泛林半導體和東京電子則分別以 30%、21% 和 19% 的市場份額，佔據了七成的全球 CVD 裝置市場。

▲ 全球 ALD、CVD、PVD 裝置市場份額（來源：拓荊科技招股書）

相比這些國際半導體裝置巨頭，拓荊科技在運營規模和企業認知度上存在競爭劣勢。不過在國內市場，拓荊科技的核心技術已經達到國際水平，其產品可以與海外巨頭進行正面競爭，並拿下一定的市場份額。

▲ 拓荊科技核心技術情況（來源：拓荊科技招股書）

公開招標資訊顯示，2019-2020 年拓荊科技 PECVD 裝置中標機臺數量佔長江儲存、上海華力、無錫華虹和上海積塔四家下游企業招標總量的 16.65%。拓荊科技還獲評中芯國際 2020 年度最佳合作廠商、華虹巨集力 2020 年度優秀供應商等稱號。

相比同行業可比公司，拓荊科技 2018 年-2020 年毛利率低於可比公司平均值。隨著其市場地位和議價能力的提升，拓荊科技 2021 年前九個月毛利率則高於可比公司平均值。

不過需注意的是，拓荊科技是國內唯一一家產業化應用的積體電路 PECVD 裝置廠商，和國內可比公司以及國際半導體裝置巨頭的業務模式上存在一定差距。

▲ 拓荊科技與同行業可比公司毛利率對比（來源：拓荊科技招股書）

截至 2021 年 9 月 30 日，拓荊科技的科研人員共 189 人，佔員工總數的 44.06%，其中海外技術專家及高階技術人才十餘人。

根據招股書，拓荊科技的核心技術人員共有 7 人，包括董事長呂光泉、董事姜謙、總經理田曉明、副總經理周堅、副總經理張孝勇、資深技術總監葉五毛以及產品部總監寧建平。

值得注意的是，除產品部總監寧建平為中國國籍外，拓荊科技的其餘核心技術人員均為外國國籍。

呂光泉為美國加州大學聖地亞哥分校博士，1994 年 8 月至 1996 年 4 月，他任美國科學基金會尖端電子材料研究中心電子材料副研究員；1996 年 4 月至 2007 年 7 月，呂光泉就職於美國諾發，歷任高階工程師、PECVD 工藝研發部經理、專案主任兼工藝研發高階經理、ALD 技術高階經理；2007 年 7 月至 2014 年 8 月，他就職於德國愛思強公司。2014 年 9 月，呂光泉加入拓荊科技。

姜謙曾在美國布蘭迪斯大學獲博士學位。1982 年 1 月至 1984 年 6 月，姜謙任麻省理工學院材料科學工程中心研究員。1984 年 7 月，姜謙於英特爾就職，歷任工程師、研究員、專案經理、部門經理等多個職位。此後他在美國諾發、欣欣科技（瀋陽）有限公司擔任過副總裁和執行董事職務。2010 年 4 月至今，姜謙任職於拓荊科技。

▲ 拓荊科技董事長呂光泉（左一）和創始人、董事姜謙（右一）

田曉明則有美國東北大學電子工程學碩士和新加坡南洋理工大學工商管理碩士學位。1991 年 9 月至 1994 年 12 月，田曉明任美國 Codi Semiconductor,Inc.工藝開發經理；1994 年 12 月至 2008 年 10 月，他就職於泛林半導體，擔任過資深工藝工程師、資深工藝研發經理、資深大客戶經理、中國區技術總監等職位；2008 年 10 月至 2018 年 2 月，田曉明為尼康精機（上海）有限公司資深副總裁；此後，田曉明就職於拓荊科技。

張孝勇為美國馬里蘭大學化學工程博士，曾在美國諾發歷任工藝開發工程師、資深工藝開發工程師、超低介電質工藝開發經理、資深重要客戶經理等職位。2011 年 3 月，張孝勇加入拓荊科技。

周堅為美國得克薩斯 A&M 大學電氣工程碩士，曾先後任職或就讀於江西郵電科研所、美國得克薩斯 A&M 大學、Nonometrics Inc.、Mattson Technology, Inc.、Nonometrics Inc.、Ecovoltz Inc.、睿勵科學儀器（上海）有限公司等。2018 年 11 月，周堅進入拓荊科技。

葉五毛為加州大學伯克利分校博士，曾在 Nashua Computer Products、西部資料、Santa Clara, CA、美國諾發、NegevTech, Inc.、Hitachi High-Technologies America、Honeywell International 等企業任職；2017 年 8 月，葉五毛任拓荊科技資深技術總監。

寧建平則為貴州大學碩士，正在攻讀大連理工大學博士。2010 年 7 月，寧建平任職於拓荊科技子公司拓荊鍵科，現為拓荊科技產品部總監。

04. 大基金為第一大股東，無控股股東與實控人

國家積體電路基金、國投上海和中微公司是拓荊科技的前三大股東，分別持有 26.48%、18.23% 和 11.20% 的股份。

此外，呂光泉、劉憶軍、凌復華、吳飈、周仁、張先智、張孝勇，以及瀋陽盛騰、芯鑫和等 11 個員工持股平臺均為姜謙一致行動人。因此姜謙通過直接持股和一致行動人，控制了拓荊科技 15.192% 的股權。

▲ 拓荊科技股權結構（來源：拓荊科技招股書）

根據拓荊科技的公司章程規定，其董事會由 9 名董事組成，包括 3 名獨立董事。其董事會決議的表決實行一人一票，且董事會做出決議必須經全體董事的過半數通過。

在 6 名非獨立董事中，國家積體電路基金有權提名 2 位，國投上海、中微公司分別有權提名 1 名，姜謙及其一致行動人有權提名 2 名。由於任何單一股東以及一致行動人提名的非獨立董事均不足董事會席位的 1/2，拓荊科技不存在控股股東或實際控制人。

05. 結語：盈利能力存疑，核心技術人員外籍人士佔比較高

拓荊科技作為我國薄膜沉積裝置龍頭，基本上代表了我國 PECVD 等產品的領先水平。本次 IPO，拓荊科技將獲得更充裕的研發資金，並加大自身融資渠道，擴大運營規模。

但值得注意的是，拓荊科技當前收入較為依賴 PECVD 裝置，ALD、SACVD 裝置處於市場開拓階段，其國際巨頭佔據了絕大部分市場，其盈利有著不確定性。同時，拓荊科技核心技術人員以外來專家為主，在人才培養上或需要更大的投入。