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上海新陽:已有 ArF 光刻膠產品,但因疫情等因素致認證進度較慢

3 月 16 日,上海新陽在投資者互動平臺表示,針對 Arf 光刻膠最新進度的問題作出迴應,稱近期公司已有 ArF 光刻膠產品,受疫情及客戶產線情況等各類因素影響導致認證進度較慢,但公司已有部分光刻膠產品取得客戶訂單。

另外,上海新陽針對公司生產的 krf 光刻膠品質與銷量也做出迴應,其稱公司生產的 KrF 光刻膠已經拿到部分晶圓製造客戶訂單,並表示目前光刻膠訂單在上海生產,還未大規模量產。

資料顯示,上海新陽目前主要從事兩類業務:一類是積體電路製造及先進封裝用關鍵工藝材料及配套裝置的研發、生產、銷售和服務,併為客戶提供整體化解決方案;另一類是環保型、功能性塗料的研發、生產及相關服務業務,併為客戶提供專業的整體塗裝業務解決方案。其主要產品是半導體晶圓製造及先進封裝用電鍍液及新增劑、半導體晶圓製造用清洗劑、半導體封裝用電子化學材料、半導體制造用高階光刻膠產品、半導體配套裝置產品。

上海新陽迄今承擔國家 02 專項研發專案有:“65-45nm 晶片銅互連超高純電鍍液及新增劑研發和產業化”、“20-14nm 先導產品工藝開發”專案任務課題“高速自動電鍍線研發與產業”專案、“銅互連電鍍工藝技術及產品的研發”等。